目前的超精細加工，以不改動工件資料物理特性為前提，以取得極限的形狀精度、尺度精度、外表粗糙度、外表完整性(無或很少的外表損害，包括微裂紋等缺點、殘余應力、安排變化)為目標。

超精細加工的研討內容，即影響超精細加工精度的各種因素包括：超精細加工機理、被加工資料、超精細加工設備、超精細加工東西、超精細加工夾具、超精細加工的檢測與誤差補償、超精細加工環(huán)境(包括恒溫、隔振、潔凈操控等)和超精細加工工藝等。一直以來，國內外學者圍繞這些內容展開了體系的研討。超精細加工的開展閱歷了如下三個階段。

1）20世紀50年代至80年代，美國率先開展了以單點金剛石切削為代表的超精細加工技能，用于航天、國防、地理等范疇激光核聚變反射鏡、球面、非球面大型零件的加工。

2）20世紀80年代至90年代，進入民間工業(yè)的使用初期。美國的摩爾公司、普瑞泰克公司，日本的東芝和日立，以及歐洲的克蘭菲爾德等公司在政府的支持下，將超精細加工設備的商品化，開端用于民用精細光學鏡頭的制作。單超精細加工設備仍然稀疏而昂貴，主要以專用機的方式訂制。在這一時期還呈現(xiàn)了可加工硬質金屬和硬脆資料的超精細金剛石磨削技能及磨床，但其加工效率無法和金剛石車床相比。

3）20世紀90年代后，民用超精細加工技能逐步老練。在汽車、能源、醫(yī)療器材、信息、光電和通信等工業(yè)的推動下，超精細加工技能廣泛使用于非球面光學鏡片、超精細模具、磁盤驅動器磁頭、磁盤基板、半導體基片等零件的加工。跟著超精細加工設備的相關技能，例如精細主軸部件、翻滾導軌、靜壓導軌、微量進給驅動裝置、精細數(shù)控體系、激光精細檢測體系等逐步老練，超精細加工設備成為工業(yè)界常見的出產(chǎn)設備。此外，設備精度也逐步挨近納米級水平、可加工工件的尺度范圍也變得更大，使用越來越廣泛。跟著數(shù)控技能的開展，還呈現(xiàn)了超精細五軸銑削和飛切技能。已經(jīng)能夠加工非軸對稱非球面等復雜零件